凭借着MEMS的丰富技术积累,一种基于“光声光谱技术”的CO2传感器——XENSIVTM PAS CO2,提供正负30PPM和正负3%的精度。传统CO2感知技术有NDIR、EC和eCO2技术,其中EC和eCO2的精度和选择性都不如NDIR,而且容易受到湿度的影响。光声光谱的CO2传感器可以提供与NDIR相同的精度和选择性,同时因为采用MEMS技术,所以在尺寸上和成本上具有优势,可以减少客户整体的设计复杂度。如下图所示,光声光谱的二氧化碳传感器,双通道的NDIR传感器和参考用的传感器对比,它们的测量曲线是非常接近的,但是eCO2的偏差就非常大。